一种MEMS陀螺仪及电子设备.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种MEMS陀螺仪及电子设备.pdf

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本发明提供一种MEMS陀螺仪，包括框架结构、设置于框架结构内的解耦结构和质量块，框架结构包括驱动结构、耦合结构、连接耦合结构与驱动结构的第一弹性件以及固定耦合结构、驱动结构和第一弹性件的第一锚点结构；框架结构沿多轴方向被划分为多个检测区域，质量块包括敏感质量块和耦合质量块；在每个检测区域内均设置有至少一个耦合质量块、对称分布在耦合质量块两侧的敏感质量块、以及固定耦合质量块和敏感质量块的第二锚点结构，耦合质量块通过第一弹性件与敏感质量块连接；在其中一个检测区域设置有解耦结构，解耦结构与第二锚点结构

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113959423 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111159458.8 (22)申请日 2021.09.30 (71)申请人瑞声开泰科技 (武汉)有限公司