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本公开提供一种太赫兹波TOF三维成像系统,包括:太赫兹像素阵列(A),用于接收太赫兹波调幅信号并输出解调后的第一模拟信号;信号读出模块(B),用于对第一模拟信号进行积分放大,得到积分信号,并将积分信号转换为数字信号;控制模块(C),用于给信号读出模块(B)提供读出参数配置以及控制太赫兹像素阵列(A)的行选时间以实现不同的成像帧率;信号处理模块(D),用于将数字信号恢复成第二模拟信号,根据第二模拟信号计算飞行时间与深度信息来成像;其中,第一模拟信号与太赫兹波调幅信号具有相位偏移。本公开的三维成像系
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113960628 A
(43)申请公布日 2022.01.21
(21)申请号 202111258854.6
(22)申请日 2021.10.27
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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