可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置.pdf

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本发明公开了一种可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置，本发明装置利用像旋转器对多光束排布方向进行旋转，使得多光束排布方向与转镜扫描方向连续可调，实现了五种不同的高速扫描策略。本发明基于上述五种不同扫描策略，有效解决了现有并行激光直写由于扫描策略单一导致扫描效果与扫描速度不佳的问题。本发明针对不同应用，使用不同扫描策略，实现扫描速度与扫描质量的双重提升。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113960892 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111248690.9 (22)申请日 2021.10.26 (71)申请人之江实验室地址