一种水显影光刻胶用树脂及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.98千字
约 9页
2023-04-23 发布于北京
举报
版权申诉

一种水显影光刻胶用树脂及其制备方法.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明属于光刻胶树脂低聚物技术领域，具体涉及一种水显影光刻胶用树脂及其制备方法。将马来酸双酯、缩醛化多羟基环己基乙烯和甲基丙烯酸酯作为聚合单体，并溶于有机溶剂中，在热自由基引发剂和链转移剂的条件下，通过自由基聚合反应，制备得到水显影光刻胶用树脂。本发明采用缩醛化多羟基环己基乙烯作为聚合单体，在光刻反应过程中，形成的缩醛酸催化醚键分解速度更快，曝光区域产生大量的羟基，从而提高光刻胶的显影速度，同时由于环己烷结构的存在，可以提高光刻胶的抗刻蚀能力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113956398 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111197679.4 G03F 7/004 (2006.01) (22)申请日 2