第三代化合物半导体的生产设备预防保养系统.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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第三代化合物半导体的生产设备预防保养系统.pdf

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本发明涉及生产设备管理技术领域，公开了一种第三代化合物半导体的生产设备预防保养系统。所述生产设备预防保养系统包括：设备管理模块，用于管理各生产设备的设备基础信息及设备维护信息；预防保养模块，用于管理各生产设备的设备保养数据与保养计划；设备点检模块，用于管理各生产设备的点检窗体信息与设备点检信息；故障维修模块，用于管理各生产设备的设备维修数据与维修计划；库存管理模块，用于管理各生产设备的零件基础数据、零件供应商的基础数据与零件库存信息，并在库存不足时发起零件采购请求；信息交互模块，用于与制造执行系

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113962428 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111027791.3 (22)申请日 2021.09.02 (71)申请人深圳镓芯半导体科技有限公司