一种多晶硅片表面淋洗装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种多晶硅片表面淋洗装置.pdf

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本发明属于多晶硅片清洗领域，具体为一种多晶硅片表面淋洗装置，包括箱体，所述箱体的两侧壁均开设有贯穿孔，所述贯穿孔的内腔贯穿有第一滑轨，所述第一滑轨的外壁套装有第一电动滑块，所述第一电动滑块的底部两侧均固定有拉力传感器。本发明通过摄像头对进入的硅片进行采集，然后通过控制器判断其大小，然后利用拉力传感器进行监测硅片的大小，然后根据硅片的大小以及重量，从而能够判断出硅片强度，然后根据硅片的强度，控制器会调节液泵的功率，从而使得利用喷头喷出的水的水压得到精准的控制，从而保证在冲洗的过程中，能够有效的将碎

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113953250 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111235993.7 (22)申请日 2021.10.22 (71)申请人徐州鑫宇光伏科技有限公司