具备显微定位功能的射流抛光装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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具备显微定位功能的射流抛光装置.pdf

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本发明公开了一种具备显微定位功能的射流抛光装置，包括：多轴运动平台，设有相对位置可调的第一安装台和第二安装台；抛光池，设在第一安装台上用于放置目标样品；喷头，设在第二安装台上用于喷射抛光液以形成微细射流；供液系统，连接喷头用于向喷头输送抛光液；射流拍摄显微成像系统，设在第二安装台上用于动态观察微细射流冲蚀目标样品的过程和测量微细射流的宽度；微结构显微定位系统，设在第二安装台上用于观察目标样品上的微结构并定位微细射流；控制主机。本发明能保证目标样品的微结构表面抛光时实现微细射流束相对微结构表面的准

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113953978 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111205443.0 (22)申请日 2021.10.15 (71)申请人清华大学地址 1