监控热板烘烤不均匀的方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.34万字
约 11页
2023-04-23 发布于北京
举报
版权申诉

监控热板烘烤不均匀的方法.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种监控热板烘烤不均匀的方法，包含：对热板温度进行实时监控；记录测量点的晶圆放置到热板上热板温度变化实时值；若测量点处的热板温度变化实时值与热板温度变化标准值比较，存在差值，则该测量点处烘烤不均匀，定义为异常烘烤点。据此，本发明能够达到的技术效果在于，能够实时的在热板烘烤工艺的初始阶段，即晶圆刚刚放置到热板处的时候，就能够判断出热板温度值是否存在异常，并为解决产生异常的因素排除提供监测参考。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113964061 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111209311.5 (22)申请日 2021.10.18 (71)申请人华虹半导体（无锡）有限公司