多波长光纤线阵列共焦显微探测方法与装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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多波长光纤线阵列共焦显微探测方法与装置.pdf

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多波长光纤线阵列共焦显微探测方法与装置。本发明属于光学成像与检测领域，可用于微纳精密样品表面形貌的快速测量。本发明结合光纤线阵列共焦和物镜的轴向色散，通过公共端光纤线阵列提供狭缝照明并过滤经样品反射的测量光束，使用波长分光装置分离测量光束中不同波长的光，得到不同波长下光纤线阵列共焦响应强度值，进而获取被测样品表面沿测量光束光轴方向的位移信息。采用公共端光纤线阵列同时当作照明狭缝和探测狭缝，显著降低共焦光路调整难度；同时在信号处理过程中利用斜率较大的线性区域来替代传统线共焦中斜率为零的顶点区域，显

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113959371 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111264616.6 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人绍兴钜光光电科技有限公司