一种氮化镓基微米线激光器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种氮化镓基微米线激光器及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种氮化镓基微米线激光器，其包括基底，布置于基底上的第一电极层，布置于第一电极层上的氮化镓基微米线，该微米线包含N型氮化镓芯层和依次覆盖于所述N型氮化镓芯层上的第一光限制层、第一光波导层、多量子阱层、第二光波导层、第二光限制层、以及P型氮化镓层，N型氮化镓芯层与第一电极层接触；第二电极设置于氮化镓基微米线上，与P型氮化镓层接触；沿所述微米线的长度方向上，距离该微米线一端的预定距离开始，等间距布置有三个刻蚀凹槽，形成法布里‑珀罗谐振腔。该激光器具有损耗低、激光出射率高、占用体积小、易于集

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114024209 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111191245.3 (22)申请日 2021.10.13 (71)申请人华南师范大学地址