一种稀土掺杂抗冲蚀防护涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种稀土掺杂抗冲蚀防护涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种稀土掺杂抗冲蚀防护涂层及其制备方法。所述稀土掺杂抗冲蚀防护涂层包括依次层叠的离子刻蚀层、作为结合协调层的Ti层、作为结合强化层的TiN层、作为第一功能层的第一稀土掺杂TiAlSiN功能层、作为第二功能层的第二稀土掺杂TiAlSiN功能层和作为第三功能层的第三稀土掺杂TiAlSiN功能层，所述第一稀土掺杂TiAlSiN功能层、第二稀土掺杂TiAlSiN功能层和第三稀土掺杂TiAlSiN功能层所掺杂的稀土元素包括Y和/或Ce。本发明的稀土掺杂抗冲蚀防护涂层兼具高硬度、强韧性等优异的机

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114015981 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111262258.5 C23C 14/16 (2006.01)