一种用于结冰检测的MEMS微波传感器及其检测方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种用于结冰检测的MEMS微波传感器及其检测方法.pdf

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本发明公开了一种用于结冰检测的MEMS微波传感器领域，属于传感器技术领域。该传感器主要包括底层金属微带传输线2、介质基底3、顶层互补叉指形开口谐振环4和金属参考面5，所述互补叉指形开口谐振环在受到沿谐振环轴向的交变电场的作用下，因为叉指结构的存在，能够更加有效的激励谐振环，且互补叉指形开口谐振环的环内部分为电场强度最大的区域，在该区域放置待测样本，可以最大化传感器对结冰情况的敏感程度。本发明有望满足目前国内外航空、风力发电等产业对这种成本低、体积小、批产一致性好的结冰传感器有迫切的需求。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114001635 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111206449.X (22)申请日 2021.10.16 (71)申请人西北工业大学地址