一种图像传感器的制备方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种图像传感器的制备方法.pdf

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本发明提供的一种图像传感器的制备方法，包括：提供衬底，所述衬底包括像素区及位于所述像素区外围的逻辑区，所述衬底的逻辑区中形成有互联结构；在所述衬底的第一表面上形成金属层，所述金属层包括覆盖所述像素区的第一部分和覆盖所述逻辑区的第二部分，所述第二部分与所述互联结构电性连接；刻蚀所述第一部分以形成多个贯穿的第一凹槽；在所述金属层上顺形地形成钝化层，并刻蚀所述逻辑区的钝化层以减薄所述逻辑区的钝化层；对所述钝化层进行平坦化工艺，在平坦化工艺之前对所述逻辑区的所述钝化层进行刻蚀，降低所述逻辑区的所述钝化层

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114005845 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111266547.2 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人上海华力微电子有限公司