机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统.pdf

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本申请提供了一种机台工序的改善顺序的确定方法、确定装置和加工系统，该方法包括：在第一预定时间内，检测目标机台分别对多个晶圆组进行加工时的各工序的消耗时间，得到多组加工时间，晶圆组为一个晶圆盒中的一个或者多个晶圆，一组加工时间包括一个晶圆组对应的各工序的加工时间；根据多组加工时间确定各工序的最短加工时间；计算各工序对应的多个加工时间分别与对应的最短加工时间的差值，得到多个第一差值，计算多个第一差值的平均值，得到第一平均超出时间，每组加工时间中包括一个与工序对应的加工时间；根据各工序的第一平均超出时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114021923 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111257230.2 (22)申请日 2021.10.27 (71)申请人长江存储科技有限责任公司