一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺.pdf

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本发明公开一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺，属于智能光电芯片和半导体领域，主要涉及微机电系统、微纳光学、电磁驱动等技术。芯片主要结构包括可动镜体1、固定镜体2、可动反射镜3、固定反射镜4,支撑薄膜5、键合层6、永磁体7、间隔层8、PCB驱动/控制电路9和封装外壳10。本发明提出的电磁驱动珐珀滤波芯片可实现双向宽幅线性调制，增大珐珀滤波芯片调谐范围，克服其他驱动式的珐珀滤波芯片调制范围有限、非线性驱动和响应速度慢等缺点。所采用的MEMS圆片级体加工技术可实现大孔径珐珀滤波芯片的低成本、高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019673 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111226876.4 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人西北工业大学宁波研究院