一种六维力传感器.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种六维力传感器.pdf

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本发明公开了一种六维力传感器，包括传感器基座、弹性形变模块、测量光栅和六维光栅编码器；其中，所述传感器基座用于承载所述弹性形变模块；所述弹性形变模块用于承受并表征物体所受之力；所述测量光栅置于所述物体之上，用于反映所述弹性形变模块的形变，并反射来自所述六维光栅编码器的测量光束以获得相干光束；所述六维光栅编码器接收所述测量光栅所反射的所述相干光束，并根据所述相干光束测量出所述物体受力时的六维位姿变化信息，以获得所述物体的六维受力信息。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114001856 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111172303.8 (22)申请日 2021.10.08 (71)申请人清华大学深圳国际研究生院