一种单晶硅材料及其在制备异形件中的用途.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种单晶硅材料及其在制备异形件中的用途.pdf

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本发明公开了一种单晶硅材料及其在制备异形件中的用途，属于单晶硅材料技术领域，具体涉及一种单晶硅材料的制备方法，将单晶硅片分别采用氧化清洗液、氢氟酸清洗液及腐蚀液进行浸泡处理制备得到金字塔微结构绒面单晶硅材料；单晶硅片经浸泡处理后均采用去离子水冲洗；腐蚀液中含有碳酸钾、氟化钾和1H‑吡唑‑3‑基尿素。本发明进一步在银纳米粒子存在的条件下，使用含有氢氟酸和双氧水的催化腐蚀液对金字塔微结构绒面单晶硅材料进行腐蚀处理及除银处理得到金字塔型纳米多孔单晶硅材料。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114016131 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111287350.7 (22)申请日 2021.11.02 (71)申请人东海县太阳光新能源有限公司