一种用于MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种用于MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路.pdf

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本发明提供一种用于MEMS电容型传感器的电容‑电压变换电路，包括：电压激励源、共模电荷控制器和电荷电压转换模块；其中，电荷电压转换模块包括：第一级差分放大器、第二级差分放大器、增益误差矫正器、有源噪声抵消器和电荷反馈单元，由于在第一级差分放大器放大预设电容传感器寄生电容的置位噪声信号后，与第一级差分放大器连接的有源噪声抵消器能够对置位噪声信号进行吸收、并且分别与有源噪声抵消器和第二级差分放大器连接的增益误差矫正器可以对第一级差分放大器及第二级差分放大器产生的增益误差加以矫正，因此在降低噪声的同时

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114018298 B (45)授权公告日 2022.07.22 (21)申请号 202111234468.3 CN 113452368 A,2021.09.28 (22)申请日 20