基于AOI和超声成像的半导体探针卡插针方法、装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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基于AOI和超声成像的半导体探针卡插针方法、装置.pdf

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本发明公开了一种基于AOI和超声成像的半导体探针卡插针方法、装置、计算机设备和存储介质，方法包括：（1）获得标准插针路径、获得探针卡上下两段的探针孔位置偏差信息、（2）结合探针孔位置偏差信息在所述标准插针路径的基础上进行修正以获得探针卡中各个探针孔的实际探针插孔路径；（3）根据调整后的实际探针插孔路径，依次插针，完成插针动作。装置包括AOI图像获取模块、三维图像信息获取模块、PC控制模块。本发明采用AOI图像分析方法及三维成像方法，通过人工示教或机器智能AI分析的方法，确定实际探针插孔路径，保证

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019348 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111159933.1 (22)申请日 2021.09.30 (71)申请人强一