一种CVD系统及制备大尺寸炭／炭复合材料的方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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一种CVD系统及制备大尺寸炭／炭复合材料的方法.pdf

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本发明提供了一种CVD系统及制备大尺寸炭/炭复合材料的方法，所述系统包括CVD气相沉积炉，所述CVD气相沉积炉包括炉体、设于炉体内相连通的下加热区及上加热区和贯穿于上下加热区内的料柱组，所述炉体的侧壁内设有分别对上下加热区加热的第一加热腔和第二加热腔，所述下加热区内设有由下到上依次设置的第一预热导流机构和第一装料分流机构，所述上加热区设有补气结构和第二装料分流机构，所述炉体侧壁设有与第一加热腔联通的氮气进气口。通过分层导向进气且分层预热，优化了流场，提高产品质量均一性。CVD过程中控制气体定向流

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113999033 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111153081.5 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人芜湖