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本发明公开了一种复合型气浮主轴,包括固定架、升降机构以及空气主轴定位机构,所述固定架包括横向矩形支座、横向腰槽、矩形固定座、纵向矩形条、压条、腰槽、纵向腰槽以及腰槽螺钉,所述升降机构包括L形立板、方形板、传动设于两个方形板之间的垂向丝杆、伺服减速电机、十字形导向轨以及通过丝杆螺母与垂线丝杆传动连接的固定座,所述空气主轴定位机构包括空气主轴、胀紧套、带有研磨头的的研磨杆以及套接在空气主轴外侧面且与固定座螺接的抱箍。本发明空气主轴上胀紧套的设置便,于更换空气主轴上的研磨刀具来适用不同产品的研磨需求,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114012600 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111112293.9
(22)申请日 2021.11.16
(71)申请人 苏州翠竹半导体有限公司
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