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本发明公开了一种晶圆清洗探伤方法,使用具有间隔设置的第一输送辊和清洗辊,对晶圆进行边传输边进行上下两面的喷水清洗处理,提高晶圆清洗效果和质量,提高清洗自动化程度,利用烘干组件实现干燥,最后对晶圆进行超声波探伤以判断晶圆有没有损伤。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114023665 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111114385.0
(22)申请日 2021.09.23
(71)申请人 江苏
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