一种功率器件及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种功率器件及其制作方法.pdf

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本申请实施例公开了一种功率器件及其制作方法，该功率器件包括：衬底、外延层、功能组件以及至少一个环形槽，外延层覆盖衬底表面，功能组件覆盖外延层的预设区域，环形槽位于所述预设区域外围，贯穿外延层延伸至衬底中，但不贯穿所述衬底，环形槽中具有第一金属填充物，第一金属填充物一部分位于外延层中，一部分位于衬底中，衬底中具有多个通孔，通孔中具有第二金属填充物，能够使得衬底的电阻较小，提高功率器件的性能。由于第一金属填充物一部分位于外延层中，一部分位于衬底中，刻蚀衬底形成通孔时，可以利用终点检测的方式，避免过度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114005802 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111652472.1 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人北京