一种基于相变材料的可控超表面结构及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种基于相变材料的可控超表面结构及其制备方法.pdf

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本发明属于微电子技术领域，具体公开了一种基于相变材料的可控超表面结构及其制备方法，该结构从下至上依次包括：衬底、底电极层、透明绝缘层和顶电极层；透明绝缘层中设置有超表面单元和多个微电极柱，超表面单元的上、下表面均连接微电极柱，或者超表面单元的上、下表面中任意一面连接微电极柱，另一面连接底电极层或顶电极层；各微电极柱的一端连接超表面单元，另一端连接底电极层或顶电极层；在不同脉冲电流作用下，超表面单元能够发生不同程度的可逆的相变，使得可控超表面结构的电磁波透过率发生变化。本发明通过精确控制施加的电流

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114005932 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111183070.1 (22)申请日 2021.10.11 (71)申请人华中科技大学地址