对用于电子电路的曲线掩模的掩模规则检查.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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对用于电子电路的曲线掩模的掩模规则检查.pdf

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一种系统，用于对曲线形状执行掩模规则检查(MRC)。曲线形状的宽度沿着形状的不同部分不同。曲线形状的中轴线被确定。中轴线被修整以排除距拐角阈值距离内或距边缘太远的部分。经修整中轴线用于执行掩模规则的宽度检查。系统生成几何形状之间的中轴线，并且使用中轴线来确定两个几何形状是否至少相隔阈值距离。系统对尖拐角执行锐角检查。系统使用从顶点到形状的边界上的端点绘制的线来确定角度，这些端点在阈值距离处。这些角度用于检查锐角掩模规则违反。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114008620 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202080041678.8 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所