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2023-04-24 发布于北京
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一种MEMS结构.pdf

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本申请公开了一种MEMS结构，包括经空腔分隔开的背板和压电复合振动层，所述背板与所述压电复合振动层构成电容结构，其中，所述压电复合振动层包括依次层叠的振动支撑层、第一电极层、压电层和第二电极层。该MEMS结构结合了压电式MEMS麦克风和电容式MEMS麦克风的特征，在接收相等的声能的条件下，该MEMS结构获得了更多的转换电能，从而提高了输出电能量,获得了较高的灵敏度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114014254 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111273348.4 (22)申请日 2021.10.29 (71)申请人安徽奥飞声学科技有限公司