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本发明公开了一种Topcon电池的制造方法,包括S1,对N型单晶硅片进行碱制绒;S2,对碱制绒后的N型单晶硅片的正面进行硼扩散;S3,采用具有添加剂的碱溶液进行清洗,对氧化层的区域定向保护隔绝OH‑与氧化硅反应,对无氧化层的区域加速OH‑的反应,增大{111}/{100}面的腐蚀速率,实现背面抛光;S4,去除正面的BSG层后,表面依次生长超薄二氧化硅层、掺杂非晶硅薄膜层以及掩膜层;S5,对正面进行开槽获得开槽线,开槽线用于将所围的内侧区域与外侧背面在正面的绕镀隔离;S6,进行双面镀膜形成正面镀膜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114005907 A
(43)申请公布日 2022.02.01
(21)申请号 202111332211.1
(22)申请日 2021.11.11
(71)申请人 上饶捷泰新能源科技有限公司
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