一种多孔陶瓷板及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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一种多孔陶瓷板及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种防静电吸光多孔陶瓷板，其主要由下述重量百分比原料制成：三氧化二铬25‑62%，三氧化二铁24‑37%，氧化亚镍2‑29%，二氧化锰0‑14%，二氧化硅2‑16%，矿化剂0.6‑8%。本发明多孔陶瓷体积电阻率为106‑109Ω·cm，反射率不高于5%，气孔率为20‑50%，孔径为1‑50μm，具备防静电功能和低反射吸光功能，可减少对半导体晶圆、显示面板的静电伤害和对光学检测的曝光干扰。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113999044 B (45)授权公告日 2022.08.26 (21)申请号 202111337494.9 (51)Int.Cl.