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本公开的光电传感器包括:放置台(33a),被配置为允许在其上放置工件(W1);光投射装置(4),包括激光二极管(41)和会聚透镜(45);以及光电二极管(52),被配置为在与放置台(33a)位于同一平面上的位置处接收穿过检测区域(DA)的激光束(LB)。从会聚透镜(45)投射的激光束(LB)的光轴被设置为使得激光束(LB)在与光电二极管(52)的入射表面垂直的方向上入射并且聚焦在光电二极管(52)的入射表面上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114026394 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202080045074.0 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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