用于测量光学元件的界面的设备和方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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用于测量光学元件的界面的设备和方法.pdf

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本发明涉及一种用于测量包括多个界面的光学元件(1000)的界面(103)的形状的方法和设备(1)，该设备(1)包括：测量装置(4000、6000、7000)，其具有由低相干源(402、612、712)照射的至少一个干涉测量传感器，其配置为将测量光束(106、606)导向光学元件(1000)以穿过所述多个界面，并且选择性地检测由被所述待测界面(103)反射的测量光束(106、606)与参考光束(616、716)之间的干涉产生的干涉信号；定位装置(608、611、708、711)，其配置用于将干涉测

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114008405 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 201980097215.0 (51)Int.Cl.