用于MOCVD上控制流量的泵液装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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用于MOCVD上控制流量的泵液装置.pdf

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本发明公开了用于MOCVD上控制流量的泵液装置，包括液体容器、安装在所述液体容器上的液体管道和气体管道、以及控制中心；气体管道的一端连接气体源，气体管道的另一端连接液体溶液，所述气体管道上安装有用于检测并控制气体流量的质量流量控制器，所述液体管道上安装有用于检测液体流量的液体流量传感器，所述质量流量控制器、所述液体流量传感器均与所述控制中心电连接。该泵液装置通过液体流量来反馈控制气体流量，只要在控制中心上设定液体流量，控制中心即可精确地调节气体流量，进而达到精确控制液体流量的目的。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114017398 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111234523.9 (22)申请日 2021.10.22 (71)申请人苏州新材料研究所有限公司