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本发明的目的是提供一种能够防止试料长时间残留在离子源容器内部的质量分析装置。本发明的质量分析装置中,在离子源容器的内部除了供给离子源进行电离所用的第一气体之外,还供给沿着离子源容器的内壁朝向排气部流动的第二气体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114026671 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 201980097858.5 (51)Int.Cl.
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