一种导电膜的制备方法以及导电膜.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种导电膜的制备方法以及导电膜.pdf

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本公开实施例提供一种导电膜的制备方法以及导电膜，所述制备方法包括：清洗所述衬底层；将所述衬底层传输至镀膜腔室中进行镀膜，通过镀膜依次形成平坦层、梯度种子层、金属层、蛛网层、种子层以及调色层，在形成所述梯度种子层的过程中采用梯度沉积方式。本公开实施例通过设置梯度过度的膜层，从而改善复合膜层的应力，生长缺陷，尤其是膜层的粗糙度，还能为进一步核心功能层的沉积打好基础，有助于作为核心层的金属层趋近于层状生长，同时实现同等膜厚的情况下电阻率最低，粗糙度最小。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114005604 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111544502.7 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人西湖大学地址 31