全自动晶圆分选机固晶环校正机构.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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全自动晶圆分选机固晶环校正机构.pdf

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本发明的技术目的是提供一种通过横轴及竖轴定位，并通过圆形固晶环实现旋转精准定位的全自动晶圆分选机固晶环校正机构。包括有Y轴运动电机，所述Y轴运动电机的电机轴上设有丝杆传动结构，丝杆传动结构的移动块上设有固晶环固定块，所述固晶环固定块上设有固晶环驱动电机，所述固晶环驱动电机的电机轴与固晶环套设有传动皮带；固晶环的一侧设有晶片固定盘，所述固晶环与固晶环固定块之间设有轴转结构；Y轴运动电机及固晶环固定块设于一X轴运动电机上并由X轴运动电机水平移动。本发明由固晶环驱动电机带动固晶环旋转校准晶片，并由下一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068362 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111225073.7 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人深圳市朝阳光科技有限公司