一种超高真空二维材料制备系统及制备方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于北京
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一种超高真空二维材料制备系统及制备方法.pdf

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本发明提供一种超高真空二维材料制备系统及制备方法，旨在解决现有的用机械剥离法制备二维材料的方式一般都在大气环境下进行，大气下的氧气很容易将二维材料氧化，进而改变所制备的二维材料的性质，无法获得准确二维材料观测和检测数据的问题，超高真空二维材料制备系统包括系统支架，所述系统支架上通过固定架安装有超高真空腔体，超高真空腔体的内腔中设有用于二维材料样品在超高真空环境下制备的二维材料操作机构，且超高真空腔体上设有：真空腔门；长焦显微镜；真空泵组，用于对超高真空腔体的内腔抽真空；真空计；观察窗；样品架传样

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114057159 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111366454.7 (22)申请日 2021.11.18 (71)申请人仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司