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本发明涉及一种生成用于成像工件表面的方法的参考图像的方法,其中,所述参考图像是借助于以下生成:相对于彼此横向位移和/或旋转的参考物体的表面的多个图像记录被捕获,并且基于捕获的图像数据生成重新定位的图像记录并将其存储。根据本发明,遮蔽数据记录是借助于定义多个评估组生成的,并且,在评估组中的每一个中,在各个情况下通过计算以成对方式将单独重新定位的图像记录中的一个与多个其它单独重新定位的图像记录组合,并且将通过计算评估组从成对组合中的每一个获得的数据记录进行组合以形成相应遮蔽数据记录。将遮蔽数据记录应
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114066787 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110856095.7
(22)申请日 2021.07.28
(30)优先权数据
102020209
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