- 1、本文档共36页,其中可免费阅读35页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种基板拍摄装置。抑制设备事故且谋求基板拍摄装置的小型化和低成本化。检查单元(U3)包括:保持台,其构成为保持晶圆(W)而使晶圆(W)旋转;镜构件(430),其具有反射面(432),该反射面(432)相对于保持台的旋转轴线倾斜,并且与保持到保持台的晶圆(W)的端面(Wc)和背面(Wb)的周缘区域(Wd)相对;照相机,其具有拍摄元件,来自被保持到保持台的晶圆(W)的表面(Wa)的周缘区域(Wd)的光、以及来自被保持到保持台的晶圆(W)的端面(Wc)的光被镜构件(430)的反射面(432)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114071076 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111214841.9 H01L 21/67 (2006.01)
您可能关注的文档
- 箱式变电站运行状态监控系统.pdf
- 一种无胶竹炭鞋垫.pdf
- 无人机巡查系统及智慧赋能城市应急设备.pdf
- 一种适合回收的全塑型复合牙膏管片材及其生产方法.pdf
- 一种用于中小学生的劳动时长定额记录评价系统.pdf
- 目标点合理性的判断方法、装置、终端设备及存储介质.pdf
- 面向5G智能网联系统的区块链网络切片安全智能优化方法.pdf
- 一种基于卷积神经网络的拉曼光谱分析方法.pdf
- 基于时空有向图卷积网络的出租车载客点推荐方法和系统.pdf
- 一种用于监测梨小食心虫的引诱剂及其应用.pdf
- 2024至2030年中国羚羊角类饮片行业深度调查与前景预测分析报告.docx
- 重庆市面向中国农业大学定向选调2024届大学毕业生2024年国家公务员考试考试大纲历年真题14笔试历.docx
- 重庆市面向西北工业大学定向选调2024届大学毕业生00笔试历年典型考题及解题思路附答案详解.docx
- 中国不动杆菌感染治疗药行业市场现状分析及竞争格局与投资发展研究报告2024-2029版.docx
- 2024至2030年全球与中国ETL软件市场现状及未来发展趋势.docx
- 初中八年级(初二)生物下册期末考试1含答案解析.docx
- 干簧式继电器项目申请报告.docx
- 2024至2030年中国左氧氟沙星片行业深度调查与前景预测分析报告.docx
- 菜籽项目申请报告.docx
- 2024至2030年中国八角钢行业深度调查与前景预测分析报告.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)