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本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题旨在提供可形成微细图案,并可获得高分辨率,且即使于低温硬化时,机械特性亦良好,而且无于高温高湿试验前后的密接力劣化的正型感光性树脂组成物、及正型感光性干薄膜。一种正型感光性树脂组成物,含有:(A)碱可溶性树脂,含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构;(B)交联性高分子化合物,含有下列通式(1)表示的结构单元,且具有会与(A)成分交联的基团;及(C)感光剂
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114063388 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110885231.5 G03F 7/09 (2006.01)
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