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本发明公开了一种清除硅基芯片表面硅油粘污的方法,属于集成电路电子封装技术领域。该方法使用UV膜将芯片固定,放置于有机溶剂异丙醇中,使用超声波清洗方法,经过对比实验,设定超声波功率270W,频率26.4KHz,清洗时间5min时,可去除芯片表面硅油粘污,经试验验证,清洗后不影响芯片性能及组装可靠性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114054420 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111245352.X
(22)申请日 2021.10.26
(71)申请人 中国
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