全自动晶圆分选机智能固晶结构.pdfVIP

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2023-04-25 发布于北京
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全自动晶圆分选机智能固晶结构.pdf

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本发明的全自动晶圆分选机智能固晶结构，技术目的是提供一种高精度而并且结构可靠耐用的全自动晶圆分选机智能固晶结构。包括有基座，所基座上设有滑动轨，所述滑动轨上设有滑动座，所述滑动座连接有往复驱动气缸；在所述滑动座上设有固晶针驱动电机，所述固晶针驱动电机的电机轴上设有偏心凸轮，所述偏心凸轮与固晶针套座形成联动结构；固晶针套座中设有固晶针。本发明结构巧妙，分两段行程驱动，精准定位、可靠实用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068361 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111224904.9 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人深圳市朝阳光科技有限公司