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本公开涉及半导体结构,更具体地涉及具有交错的体接触的器件和制造方法。该器件包括:位于半导体衬底材料上的栅极结构,该栅极结构包括具有宽度和长度的栅极体;多个体接触,其沿着栅极体的宽度在栅极体的至少一侧与栅极体下方的沟道区电接触;以及隔离结构,其将多个体接触与栅极结构的关联源极区和漏极区隔离开。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114068686 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110890923.9
(22)申请日 2021.08.04
(30)优先权数据
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