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本发明涉及氧传感器技术领域,特别涉及一种小尺寸极限电流型氧化锆氧传感器芯体,自上而下依次包括多孔Pt电极阳极层、YSZ固体电解质层、多孔Pt电极阴极层、绝缘层和加热电极层,多孔Pt电极阳极层、多孔Pt电极阴极层和加热电极层均连接有导电丝。以此减少YSZ固体电解质层的层数,减少测氧时氧气的扩散路径,进而降低响应时间,使其快速响应。同时,还提供了相应的制造方法,采用该方法可以制造微米级尺寸芯体;芯体各功能层的总厚度在1.1μm‑24μm,很大程度上降低了芯体的厚度,进而在后续加热处理时可以降低功耗并
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114062464 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111489395.2 G01N 27/417 (2006.01)
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