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本发明公开一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法，该直立石墨烯检测芯片包括：基材和生长于所述基材上的直立石墨烯层，所述基材上预制有一套或多套凹槽，所述直立石墨烯层生长填充于所述凹槽内，形成有一个或多个电化学电极集成化检测芯片结构；所述直立石墨烯层的高度小于或等于所述凹槽的深度。所述制作方法包括以下步骤：提供一基材，并在所述基材上预制一套或多套凹槽；在所述凹槽内生长直立石墨烯层；对生长完成的直立石墨烯层进行处理，使所述直立石墨烯层的上表面与所述基材的上表面相平齐。本发明基材上的凹槽对纳米级脆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114062457 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111350525.4
(22)申请日 2021.11.15
(71)申请人 深圳市溢鑫科技研发有限公司
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