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本发明提供了一种相变存储器及其制造方法，相变存储器包括：相变存储单元，相变存储单元包括沿纵向堆叠的相变材料层和n个选通器，n个选通器中至少有两个选通器的阈值电流不同。相变存储单元两端的字线和位线之间施加电压后，n个选通器按阈值电流从小到大的顺序先后开启导通，最小阈值电流的选通器最先开启导通；最先开启的选通器两端的电压降低，浪涌电流大大降低。n个选通器均开启后，相变存储单元的串连回路中以最小阈值电流运行，相变存储器的整体浪涌电流降低。本实施例n个选通器不在同一时刻开启，浪涌电流大大降低，有更好的抗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114068616 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111386891.5
(22)申请日 2021.11.22
(71)申请人 长江先进存储产业创新中心有限责
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