一种用于SPM清洗工艺的多功能喷头机构.pdfVIP

一种用于SPM清洗工艺的多功能喷头机构.pdf

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本发明涉公开了一种用于SPM清洗工艺的多功能喷头机构,及到一种喷头机构,包括复合式喷头、酸液回收模块、酸液管路和双氧水管路,复合式喷头的内部设有内套筒,内套筒的外周壁上开设有若干出液孔,复合式喷头上设有酸液注入口和双氧水注入口,酸液管路的一端穿过酸液注入口并延伸至内套筒中,酸液管路的另一端与酸液回收模块连接,双氧水管路的一端穿过双氧水注入口并延伸至内套筒中,复合式喷头的下端设有混合溶液喷口。本发明中的多功能喷头机构能够自动实现气泡与酸碱混合液的分离,可以有效的避免气泡喷到晶圆的表面,防止气泡在晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114054234 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111301091.9 (22)申请日 2021.11.04 (71)申请人 至微

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