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一种在管网内表面上TiN涂层的沉积方法，包括以下步骤：S1：对管网进行预处理操作；S2：将经预处理的管网连接到内表面涂层沉积设备上；S3：通过内表面涂层沉积设备对管网进行正负压交替涂覆的反应；S4：反应结束后取出管网。一种在管网内表面上TiN涂层的沉积装置，包括内表面涂层沉积设备，所述内表面涂层沉积设备包括原料气供应管道、加热炉、真空系统以及正负压控制系统；所述原料气供应管道连接至加热炉的进气口，所述加热炉的出气口连接真空系统；所述加热炉用于对管网进行加热，所述管网连接到加热炉的进气口与出气口；
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114059040 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111405602.1
(22)申请日 2021.11.24
(71)申请人 四川
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