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本发明涉及具有部分蚀刻的倒锥的边缘耦合器，揭示了包括边缘耦合器的结构以及制造包括边缘耦合器的结构的方法。该边缘耦合器包括波导芯，其具有端部表面以及终止于该端部表面的锥形段。该波导芯的该锥形段包括板层以及位于该板层上的脊层，该板层及该脊层各自终止于该端部表面。该板层具有在沿该波导芯的纵轴的给定位置具有第一宽度的第一宽度尺寸，该脊层具有在沿该波导芯的该纵轴的该给定位置具有第二宽度的第二宽度尺寸，且该第一宽度大于该第二宽度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114063211 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110895957.7
(22)申请日 2021.08.05
(30)优先权数据
16/985,64
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