一种晶圆仓智能管理方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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一种晶圆仓智能管理方法.pdf

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本发明涉及晶圆存储技术领域，具体涉及一种晶圆仓智能管理方法，该方法包括晶圆的入库、出库、盘点、检验多个过程的智能化管理，针对入库、出库、盘点以及检验传递等流程的不同特点，分别建立与仓储控制中心的联系，由仓储控制中心统筹控制管理，相比于现有技术只是简单的完成晶圆的存储，本发明实现了晶圆从入库到出库的全流程智能化管理，晶圆的存储更加规范和安全，仓储面积减小为传统仓储的1/2，极大地减少了人力物力的投入，降低了人工的工作强度，实现了智能化管理晶圆的存储。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114084560 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111405474.0 (22)申请日 2021.11.24 (71)申请人陇芯微（西安）电子科技有限公司