晶圆检测系统及晶圆检测设备.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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晶圆检测系统及晶圆检测设备.pdf

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本发明公开了一种晶圆检测系统及其晶圆检测设备，包含承载装置、探针卡、及桥接模块。其中，承载装置包括供待测晶圆放置的承载单元；探针卡包括探测部及导电部，导电部被配置在探测部周边且具有接触面；桥接模块包括朝上凸伸且邻近晶圆置放区并耦接承载单元的多个传导单元。在探测部接触待测晶圆的受测点时，导电部的接触面可同时与传导单元形成耦接关系，从而使测试信号可经由传导单元及导电部而被传递回探针卡，形成测试回路。这样，可以缩短回路的路径长度，提高信号传递时的正确性，也增进检测的正确率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114093787 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202010817541.9 G01R 1/04 (2006.01)