基板处理装置及基板搬运方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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基板处理装置及基板搬运方法.pdf

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本发明提供一种处理基板的装置。处理基板的装置可以包括：壳体，具有处理空间；传送机器人，将基板搬入所述处理空间，或者从所述处理空间搬出基板；支撑单元，具有在所述处理空间中支撑基板的卡盘以及在上下方向上移动基板的升降销；电介质板，配置为其底面与所述卡盘的顶面相对；以及间隔测量单元，测量所述电介质板和由所述升降销支撑的基板之间或者所述电介质板和所述卡盘之间的间隔。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114078728 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202010856739.8 (22)申请日 2020.08.24 (30)优先权数据 10-2020-0